系统技术指标及性能

1）8英寸半自动毫米波射频探针台，宽大的测试空间，能对芯片、chip及器件进行测试； 

2）系统可满足高达110GHz频率范围的双端口器件芯片测试要求，并能够实现与指定的扩频模块很好的搭载和测量；系统可测试67G以下双端口器件；可做四端口直流测试； 

3）可以实现通过软件对晶片载台X, Y, Z, Theta 四个方向的移动全程控制。设备控制软件可以提供自动晶片水平校准，自动器件尺寸测量，自动移动误差补偿，远程控制等自动化功能； 

4）载物台可被拉出工作台98%，便于放置被测件；且台面拉杆可在任意角度停留，方便扎针测试；

5）载物台X-Y方向：1µm (0.04 mils)分辨率、小于2µm 重复精度、大于50mm/sec的移动速度；Z方向：5mm的移动范围、1µm分辨率、小于1µm 重复精度；Theta方向：转动角度范围+/-5.5度；

6）平坦度误差优于30um；芯片载台带有两个独立的附加小载台，方便放置射频校准片；

7）ATT八英寸-60℃到+300℃温度控制器.

8）温度控制精确度：±0.1摄氏度；晶片载台温度均匀度小于1%；降温速度：-60℃到25℃≤7 min；25℃到300℃≤30 min；300℃到25℃≤18 min；25℃到-60℃≤18 min；  

9）高稳定支架的显微镜结构，显微镜移动范围：2 英寸 X 2 英寸；放大倍率 50 倍到750 倍连续可变；机台控制器，Window 7/10操作系统，内置影像截取卡用于显示显微镜图像； 

10）配置先进的微暗室技术，确保良好的测试环境

11）射频探针座采用高稳定机械固定方式，精度：手动; X、Y、Z轴定位精度2um, X、Y轴移动范围：12cm x 12cm； 

12）配套LRRM校准模式的自动射频校准软件； 

13）配套供放置探针台使用的重型防震平台及真空泵等设备，系统运行稳定；