半导体参数分析仪B1500A

发布时间: 2018/9/30 13:05:05

Keysight B1500A 半导体器件分析仪属于是德科技精密电流-电压分析仪系列,是一款能够提供 IV、CV、脉冲/动态 IV 等丰富功能的综合分析仪,旨在全面满足从基础到尖端应用的表征需求。B1500A 提供极其丰富的测量功能,支持器件、材料、半导体、有源/无源器件甚至几乎所有其他类型电子器件的电气表征和测试,并且具有卓越的测量可靠性和测量效率。此外,B1500A 的模块化体系结构和 10 个空闲插槽允许您添加或升级测量模块,以适应不断变化的测量需求。

基于 Keysight EasyEXPERT group+ 图形用户界面的表征软件可以在 B1500A(配有 15 寸触摸屏)的嵌入式 Windows 7 平台或 PC 上运行,能够帮助加快表征任务速度。软件支持交互式手动操作或结合半自动晶圆探头的自动操作,能够在从测量设置和执行到结果分析和数据管理的整个表征过程中实现高效和可重复的器件表征。EasyEXPERT group+ 配备数百种易于使用的测量(应用测试)功能,允许您快速而轻松执行复杂器件表征,并可以选择在每次测量结束后将测试条件和测量数据自动保存到独有的内置数据库(工作区)中,以确保不会遗失重要的信息和在日后能够重复执行该测量。凭借这些全面的测量功能,Keysight B1500A 提供了一款综合的器件表征解决方案。

半导体参数分析仪B1500A


主要特性与技术指标

测量功能

• 在 0.1 fA - 1 A / 0.5 µV - 200 V 范围内执行精确的电流-电压(IV)测量,支持点测量、扫描测量、采样和脉冲测量

• 在 1 kHz 至 5 MHz 频率范围内执行交流电容测量,支持准静态电容-电压(QS-CV)测量

• 先进的脉冲 IV 测量和超快 IV 测量,最低采样间隔为 5 ns(200 MSa/s)

• 高达 40 V 的高压脉势,适用于非易失存储器测试


EasyEXPERT group+ 软件

• EasyEXPERT group+ 表征环境可以在配有 15 英寸触摸屏的分析仪主机(嵌入式 Windows 7)或用户 PC 上运行

• 多种测量模式,实现快速设置和测量执行(应用测试、典型测试、追踪仪测试、快速测试和示波器显示)

• 图形显示和自动分析功能,能够生成数据并导入 Excel 和图像以便分析和报告

• EasyEXPERT group+ 软件可以根据您的需要安装在多台 PC 上并且不会收取额外的费用,因而您所在部门的用户都能充分利用离线个人分析仪环境进行测试


主机功能特性

• 可配置和可升级的测量模块,多达 10 插槽

• 15 英寸触摸屏支持直观的 EasyEXPERT group+ 图形用户界面(GUI)操作方式

• 嵌入式 Windows 7 标准版操作系统(WES7)

• GPIB、USB、LAN 接口和 VGA 视频输出端口


描述

Keysight B1500A 半导体器件分析仪属于是德科技精密电流-电压分析仪系列,是一款能够提供 IV、CV、脉冲/动态 IV 等丰富功能的综合分析仪,旨在全面满足从基础到尖端应用的表征需求。B1500A 提供极其丰富的测量功能,支持器件、材料、半导体、有源/无源器件甚至几乎所有其他类型电子器件的电气表征和测试,并且具有卓越的测量可靠性和测量效率。此外,B1500A 的模块化体系结构和 10 个空闲插槽允许您添加或升级测量模块,以适应不断变化的测量需求。


基于 Keysight EasyEXPERT group+ 图形用户界面的表征软件可以在 B1500A(配有 15 寸触摸屏)的嵌入式 Windows 7 平台或 PC 上运行,能够帮助加快表征任务速度。软件支持交互式手动操作或结合半自动晶圆探头的自动操作,能够在从测量设置和执行到结果分析和数据管理的整个表征过程中实现高效和可重复的器件表征。EasyEXPERT group+ 配备数百种易于使用的测量(应用测试)功能,允许您快速而轻松执行复杂器件表征,并可以选择在每次测量结束后将测试条件和测量数据自动保存到独有的内置数据库(工作区)中,以确保不会遗失重要的信息和在日后能够重复执行该测量。凭借这些全面的测量功能,Keysight B1500A 提供了一款综合的器件表征解决方案。

即用型应用程序库

器件类型

应用测试

CMOS 晶体管

Id-Vg、Id-Vd、Vth、击穿、电容、QSCV 等

双极晶体管

Ic-Vc、二极管、Gummel 曲线图、击穿、三极管、电容等

分立器件

Id-Vg、Id-Vd、Ic-Vc、二极管等

存储器

Vth、电容、耐久测试等

功率器件

脉冲 Id-Vg、脉冲 Id-Vd、击穿等

纳米器件

电阻、Id-Vg、Id-Vd、Ic-Vc 等

可靠性测试

NBTI/PBTI、电荷泵、电迁移、热载子注入、恒增电流(J-Ramp)、TDDB 等

以及其它

以及其它

了解 B1500A 应用软件的更多信息。

EasyEXPERT group+ 的出众功能

测量功能

阶状扫描、多通道扫描、脉冲扫描、IV 采样、高速 IV 采样、CV、C-t、C-f 等

开关矩阵控制

支持 B2200、B2201 和 E5250(E5252 卡)。

分析和数据显示功能

列表显示、X-Y 图(使用游标、光标、线)、自动分析函数、用户函数等

数据管理

用户工作区管理、利用自动记录特性来保存/调用测量数据和设置


型号

名称

功能

B1500A

半导体器件参数分析仪/半导体表征系统主机

Keysight B1500A 半导体器件分析仪属于精密电流-电压分析仪,是一款能够提供 IV、CV、脉冲/动态 IV 等丰富功能的综合分析仪,旨在全面满足从基础到尖端应用的表征需求。B1500A 提供极其丰富的测量功能,支持器件、材料、半导体、有源/无源器件甚至几乎所有其他类型电子器件的电气表征和测试,并且具有卓越的测量可靠性和测量效率。

B1500A-A10

大功率电源/测量单元

最大200V/1A

最小测量分辨率10fA/2μV

最小电源分辨率50fA/100µV

最小 100μs 采样率 (时域)测量

最小脉宽 500μs, 100μs 分辨率

准静态电容电压 (QSCV)测量, 具有泄漏电流补偿

B1500A-A11

中功率电源/测量单元

最大100V/0.1A

最小测量分辨率10fA/0.5μV

最小电源分辨率50fA/25µV

最小 100μs 采样率 (时域)测量

最小脉宽 500μs, 100μs 分辨率

准静态电容电压 (QSCV)测量, 具有泄漏电流补偿

B1500A-A17

高分辨率电源/测量单元

最大100V/0.1A

最小测量分辨率1fA/0.5μV

最小电源分辨率5fA/25µV

最小 100μs 采样率 (时域)测量

最小脉宽 500μs, 100μs 分辨率

准静态电容电压 (QSCV)测量, 具有泄漏电流补偿

B1500A-A20

多频率电容测量单元

频率范围为1kHz至5MHz

SMU和SCUU提供25V内置直流偏置和100V直流偏置

交流阻抗测量 (C-V、C-f、C-t) 

B1500A-A25

高电压半导体脉冲发生器单元

高压输出可达±40 V,适用于非易失存储器测试

每通道支持二电平和三电平脉冲

ALWG 可以灵活地生成任意波形(任意线性波形生成功能),分辨率为 10ns

高度精确的强励电压与0.4mV分辨率

频率范围为0.1Hz至33MHz

电压监测时间最小值是5µs

每个模块具有两个通道

B1500A-A30

波形发生器/快速测量单元

支持快速、高灵敏度的IV(电流-电压)测量、脉冲IV 测量和瞬时IV测量,适合各种应用场合,比如NBTI/PBTI和RTN(随机电报信号噪声)等

可以生成任意波形,编程分辨为10 ns(除了直流输出以外)

同时执行高速IV测量(最高200MSa/秒)

精度为1nA的高灵敏度测量

10V峰峰值输出

双通道输出

 




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